真空法蘭，簡單的按材料來分包括橡膠密封法蘭與金屬密封法蘭。前者由于出氣量等因素，用于低真空、中真空以及高真空系統中；后者出氣量小、耐高溫烘烤，一般用于超高真空系統中。與化工、通用機械法蘭相比，真空法蘭大的不同就是它是用于真空環境下。有幾個特點：

1.熱穩定性好，多次短期加熱不損壞氣密性。

2.材料漏氣率與出氣率要小。很多真空應用對真空系統的漏率有要求，因此真空法蘭材料漏氣率與出氣率要盡量小。

3.多次拆卸和裝配保持氣密性能力強。這一點上，金屬密封法蘭的密封圈大部分只能用一次，但金屬彈性密封圈的出現特別適用于金屬超高真空閥的密封。

4.真空檢漏方便。在真空系統中的易漏部位介紹中，螺桿真空泵廠家提到過真空法蘭以及各種密封接頭處是易泄漏的部位之一。因此真空法蘭的選用要利于真空檢漏工作的開展。